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橡膠密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器
MKS GE50A 通用橡膠密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器精度為設(shè)定值的±1%、相應(yīng)速度快于 500 毫秒、不同氣體及量程間自由切換。
通過一個先進(jìn)的數(shù)字算法，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時流量控制。
與通?；赑ID 的數(shù)字 MFC 相比， 它由于能實(shí)現(xiàn)工藝氣體流量的實(shí)時控制提高了控制精度， 具有更好的工藝腔室匹配性。
基于 EtherNet 用戶通訊口網(wǎng)絡(luò)的瀏覽器界面使客戶可以實(shí)時地進(jìn)行控制器的設(shè)置和故障排除， 從而減少了對“無故障”MFC 的替換并且無需中斷工藝氣體輸送。
G 系列 GE50A 數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器提供 RS485、Profibus?、EtherCAT、® PROFINET 或 DeviceNet? I/O 版本。
數(shù)字控制電子元件采用的 MKS 控制算法，可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點(diǎn)做出快速且可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為 500 毫秒。
數(shù)字校準(zhǔn)對校準(zhǔn)氣體產(chǎn)生 1% 的設(shè)定點(diǎn)精度。
流量從 5 到 50,000 sccm
氟橡膠、丁腈橡膠、氯丁橡膠或 Kalrez 的密封和閥塞選項(xiàng) 多種數(shù)字
（EtherCAT、DeviceNet?、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模擬（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O
可供選擇 標(biāo)準(zhǔn)閉合流導(dǎo)泄漏率小于滿量程的 0.1% 小于 750 毫秒的穩(wěn)定時間。
選型手冊→/uploads/file/202411/20241110151117_24694.pdf
