MKS流量控制器 1179C流量計 質(zhì)量流量計
1179C是一款純模擬量控制的氣體流量控制器
控制范圍: 滿量程的2%至100%
滿量程流量范圍:10、20、50、100、200、500、1000、2000、5000、10000、20000 sccm
配套 管道接口：TypeSwagelok®4 VCR®，Swagelok 4 VCO®，?" Swagelok®
模擬I/O連接器9針或15針“D”型
密封材料:丁腈橡膠，氯丁橡膠®，Kalrez®
進(jìn)口壓力150psig
正常工作壓差10 ~ 40psid (10 ~ 5000 sccm)
15至40 psi(10000至30000 sccm)
(MFC出口有大氣壓)
典型精度為滿量程±1.0%
重復(fù)性為滿量程的±0.2%
分辨率為全尺寸的0.1%
零溫度系數(shù)滿量程/°C的0.05%
跨度溫度系數(shù)0.08%讀數(shù)/°C
壓力系數(shù)0.02%讀數(shù)/psi
熱身時間2分鐘
典型沉降時間2秒
工作溫度0°~ 50°C
電源要求±15 VDC (200ma啟動，100ma穩(wěn)態(tài))
設(shè)置點命令信號0至5 VDC
潤濕材料s316l s.s.， Viton®，鎳
外部泄漏完整性1 × 10-9
通過關(guān)閉閥門的泄漏完整性在40psig進(jìn)口到大氣時為滿量程的1.0%
選型手冊→/uploads/file/202411/20241110121655_67961.pdf
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