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MKS質(zhì)量流量控制器product center
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MKS流量計 2179A流量控制器
MKS流量計 2179A流量控制器

2179 是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器,它帶有一個關(guān)閉閥,可在多種應(yīng)用場合測量和控制氣體的流量。

配上合適的壓力傳感器,它還可以用作壓力控制器。
常閉的氣密關(guān)閉閥門正向關(guān)閉時的泄漏量僅為4 x 10??scc/sec(He)。

它具有數(shù)字和模擬兩種模式,其精度為全量程的1%和讀數(shù)的1%。
2179具有很小的功耗:在常規(guī)直流±15V供電工作時, 單元電流僅有100mA(初開機階段為 200mA)。

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