649 提供壓力控制和流量計量。649取代了多個組件子組件，用于示例壓力控制器與單獨的流量計用于硅片背面冷卻等應(yīng)用
系統(tǒng)(公約)。緊湊的649設(shè)計允許BWCS的尺寸和復(fù)雜性顯著降低。649系列壓力控制器包含一個電容壓力計、質(zhì)量流量計、常閉比例計
控制閥和閉環(huán)控制電子元件。649控制壓力。壓力傳感器是Baratron®電容壓力計，帶滿量程
壓力范圍為10torr ~ 1000torr。Baratron電容壓力計-以其百分比而聞名
讀數(shù)的準(zhǔn)確性，穩(wěn)定性和分辨率-提供測量在較低的壓力和寬度
動態(tài)范圍比應(yīng)變計傳感器。質(zhì)量流量傳感器提供零流量測量的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
范圍從10 SCCM到5000 SCCM氮當(dāng)量是可用的。
產(chǎn)品特性
649由±15 VDC供電，僅300 mA。的
默認(rèn)壓力輸出和輸入控制信號為
清廉VDC。兩個行程點包括在649，與
LED狀態(tài)指示燈，用于簡單的開/關(guān)過程
限制。649的控制回路調(diào)諧參數(shù)是預(yù)設(shè)的
適用于典型的安裝條件，但可現(xiàn)場調(diào)節(jié)
適用于不同的工況和性能。的
比例和積分項的調(diào)整很簡單
旋轉(zhuǎn)開關(guān)，提供廣泛的動態(tài)控制范圍。
在649中，壓力傳感器監(jiān)測壓力
在控制器的下游端進(jìn)行控制。
實際壓力在電子學(xué)中與
壓力設(shè)定點信號。然后是一個適當(dāng)?shù)男盘?br />
產(chǎn)生調(diào)節(jié)比例的控制閥帶來
實際壓力與所要求的設(shè)定值一致。
內(nèi)部控制閥可以四個中的一個
節(jié)流孔允許在滿量程系統(tǒng)中進(jìn)行壓力控制
低點從10 SCCM到5 slm。
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