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640B 壓力控制器是一個(gè)獨(dú)立的、緊湊的閉環(huán)電子壓力控制系統(tǒng)，包含一個(gè) Baratron® 電容壓力計(jì)、常閉比例控制閥和閉環(huán)控制電子設(shè)備。640B 在電氣上與標(biāo)準(zhǔn) MFC 類似，由 ±15 VDC 供電，電流僅為 200 mA，允許與標(biāo)準(zhǔn)電源和顯示電子設(shè)備一起使用。

壓力輸出和輸入控制信號(hào)為線性 0-5 或 0-10 VDC。兩個(gè)帶 LED 狀態(tài)指示燈的跳變點(diǎn)用作簡(jiǎn)單的開(kāi)/關(guān)過(guò)程限制。
集成 Baratron® 電容壓力計(jì)技術(shù)
滿量程范圍低至 10 Torr，適用于低壓工藝
可用于上游或下游控制器應(yīng)用
兩個(gè)報(bào)警跳閘點(diǎn)，用于過(guò)程限值控制

選型手冊(cè)請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接→640B-641B-DS.pdf (mks.com)