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1640A 是一種基于壓力的金屬密封的質(zhì)量流量控制器，它具有標(biāo)準(zhǔn)的 3 英寸底座尺寸， 可在低管道壓力場(chǎng)合中用來測(cè)量和控制氣體的流量， 而此時(shí)熱質(zhì)量流量控制器的流量測(cè)量精度受到了限制。
1640 利用了小孔流體原理， 當(dāng)上游控制壓力至少兩倍于下游控制壓力時(shí)， 質(zhì)量流量正比于控制壓力。
在1640中， Baratron®電容壓力計(jì)監(jiān)測(cè)關(guān)鍵小孔處的上游壓力，這個(gè)壓力正比于流量。
在控制電路中，將測(cè)得的壓力與流量設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行比較后產(chǎn)生一個(gè)控制信號(hào)， 根據(jù)需要來驅(qū)動(dòng)比例控制閥的導(dǎo)通，從而使得實(shí)際控制的壓力(流量) 與設(shè)定點(diǎn)的大小相一致。
質(zhì)量流量控制器帶有15針 D型連接器， 請(qǐng)聯(lián)系《MKS應(yīng)用工程部》，將會(huì)為你的應(yīng)用所需的合適系統(tǒng)配置進(jìn)行一次電腦分析，分析的結(jié)果將確定正確系統(tǒng)配置的采購(gòu)序列號(hào)。