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全數(shù)字型MKS ALTATM質(zhì)量流量控制器(MFC) 在功能和性能上進(jìn)行了技術(shù)改進(jìn)，能使SEMI 和薄膜用戶提高設(shè)備產(chǎn)額和減小系統(tǒng)的總體成本。
為了提高整個(gè)系統(tǒng)的產(chǎn)額，ALTA MFCs具有快速的氣體設(shè)定時(shí)間，能夠滿足下一代工藝設(shè)備在生產(chǎn)能力上的要求。為了更好地與反應(yīng)室匹配，ALTA 改進(jìn)了精度使其達(dá)到了讀數(shù)的 1%(視流量、氣體種類和量程而定)。
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