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MC20A數(shù)字型金屬密封質(zhì)量流量控制器

 作為 MKS持續(xù)擴充的數(shù)字型產(chǎn)品的一員，MC20A 是一種金屬密封的質(zhì)量流量控制器，可用于大流量的場合，如50slm，100 slm和200 slm(相當?shù)獨?。

全數(shù)字型 MKS ALTATM質(zhì)量流量控制器(MFC)對功能和性能上進行了技術(shù)改進，能夠幫助半導體業(yè)和高純薄膜應用的用戶來提高工藝設備的生產(chǎn)能力和減小總體的系統(tǒng)成本。

為了提高整個工藝系統(tǒng)的產(chǎn)額，ALTA MFC 具有是快速的氣體設定時間來滿足下一代工藝設備在生產(chǎn)能力上的要求。為了更好地與反應室匹配，ALTA 改進精度使其達到了讀數(shù)的1%(視流量，氣體種類和量程而定)。