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全數(shù)字型MKS ALTATM)質(zhì)量流量控制器(MFC) 對功能和性能上進(jìn)行了技術(shù)改進(jìn)，能夠幫助半導(dǎo)體和高純薄膜應(yīng)用的用戶來提高工藝設(shè)備的產(chǎn)額和減小總體的系統(tǒng)成本。
為了提高整個工藝系統(tǒng)的產(chǎn)額。為了更好地與反應(yīng)室匹配，ALTA改進(jìn)了精度使其達(dá)到了讀數(shù)的1%。
技術(shù)上的改進(jìn)和提高為用戶節(jié)省了成本開支。為了減少MFC的使用數(shù)量，用戶可以從20個的氣體數(shù)據(jù)表中檢索到特定的 MFC氣體和流量范圍，可即刻形成 ALTA MFC的配置。
ALTA MFC 系列體現(xiàn)了 MKS致力于幫助用戶提高生產(chǎn)能力和降低系統(tǒng)成本的持續(xù)努力。
