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π - pc是MKS中關(guān)鍵的過(guò)程控制儀表
數(shù)字控制線，網(wǎng)絡(luò)支持產(chǎn)品，提供
壓力測(cè)量和控制技術(shù)
滿足半導(dǎo)體的工藝要求
以及其他前沿加工工業(yè)。
πPC壓力控制器提供壓力測(cè)量
利用MKS控制過(guò)程臨界壓力
儀器的Baratron電容式壓力計(jì)
技術(shù)。πPC具有滿量程壓力
從低至1000比索到100比索。Baratron電容
壓力計(jì)-以其讀數(shù)百分比而聞名
準(zhǔn)確性，穩(wěn)定性和分辨率-提供
在較低壓力和較寬動(dòng)態(tài)下的測(cè)量
量程大于應(yīng)變式傳感器。
產(chǎn)品特性
πPC壓力控制器是一個(gè)獨(dú)立，緊湊，
閉環(huán)電子壓力控制系統(tǒng)專為
廣泛的壓力和流量條件。它包含一個(gè)
電容式壓力計(jì)，常閉或常開
控制閥和閉環(huán)控制電子設(shè)備。π電腦
可在上游或下游的壓力
控制配置使其非常適合控制
工藝室背壓或工藝氣體輸送
壓力。數(shù)字(DeviceNet或RS-485)或模擬
I/O及其以太網(wǎng)設(shè)置和診斷功能
πPC很容易集成到加工工具中。

選型手冊(cè)請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接→piPC90ds.pdf (mks.com)