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MKS質(zhì)量流量控制器product center
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MKS流量計(jì) 1150C流量控制器
MKS流量計(jì) 1150C流量控制器
型號(hào) 1150C
基于壓力的質(zhì)量流量控制器
1150蒸汽源質(zhì)量流量控制器MFC是一種基于壓力的測(cè)量和控制系統(tǒng)，用于直接測(cè)量和控制從低蒸汽壓液體源和固體源中產(chǎn)生的蒸汽， 而無需其它運(yùn)載氣體。
1150由一個(gè)固定流體單元、一個(gè)用于流量測(cè)量的電容壓力計(jì)和一個(gè)用于流量控制的比例電磁控制閥( No .4，679，585)組成。
1150組裝為一個(gè)緊湊的、可控制溫度的組件， 配有一個(gè)溫度狀態(tài) LED 顯示器和繼電器來顯示溫度是否處于合適的范圍。
基本信息
質(zhì)量流量控制器帶有 15針 D型連接器，請(qǐng)聯(lián)系《MKS應(yīng)用工程部》， 將會(huì)為你的應(yīng)用所適系統(tǒng)配置進(jìn)行一次電腦分析， 分析的結(jié)果將確定正確系統(tǒng)配置的采購(gòu)序列號(hào)。
用于 1150C 的電纜線
CB259-5-10 用于將1150/1152 連接至246,247
CB147-1-10用于將 1150/1152 連接至647
CB260-3-10用于將 1150/1152 功率接口連接至260PS-1 或用于加熱器的 3B
備注: 1150 和 1152有一個(gè)加熱器, 以提供150°C的工作溫度

選型手冊(cè)請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接→1150C-MFC-DS.pdf (mks.com)