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MKS質(zhì)量流量控制器product center
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MKS流量控制器 1579A流量計(jì)
MKS流量控制器 1579A流量計(jì)

1579A是為研究和工業(yè)中的眾多應(yīng)用而開發(fā)的數(shù)字質(zhì)量流量控制器。

1579基于成熟的MKS技術(shù),在整個(gè)控制范圍內(nèi)提供快速的控制器穩(wěn)定時(shí)間和高精度。
規(guī)范
控制范圍2至100%滿量程
滿量程流量范圍50,100,200,300 slm (N2 in slm)
標(biāo)準(zhǔn):8 VCR®公
模擬I/O連接器15針型“D”公
密封材料:丁腈橡膠,氯丁橡膠®,Kalrez®
******進(jìn)口壓力100psig
正常工作壓差15 ~ 60 psid (50,100 slm)
25至60磅/小時(shí)(200磅/小時(shí))
40 - 60 psi (300 slm)
典型精度標(biāo)準(zhǔn):滿量程的±1%
重復(fù)性為滿量程的±0.2%
Resolution16一點(diǎn)
零溫度系數(shù)滿量程/°C的0.05%
量程溫度系數(shù)為滿量程/°C的0.10%
壓力系數(shù)±0.02%讀數(shù)/psi
熱身時(shí)間30分鐘
典型沉降時(shí)間1秒
工作溫度15°~ 40°C
電源要求20.5至30vdc, 300ma
設(shè)定點(diǎn)命令信號(hào)0至5 VDC從<20 kΩ
Profibus Connector2 x 9針“D”型公(模擬)和母(Profibus)
潤(rùn)濕材料s316l S.S.T,鎳,Viton®
外部泄漏完整性1 × 10-9 scc/秒
關(guān)閉閥門的泄漏完整性為滿量程的0.1%

選型手冊(cè)→/uploads/file/202411/20241110161348_30920.pdf