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G 系列 GV50A 數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供 RS485、Profibus?、EtherCAT®、PROFINET 或 DeviceNet? I/O。

數(shù)字控制電子設(shè)備使用 MKS 控制算法，可在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)快速、可重復(fù)地響應(yīng)設(shè)定點(diǎn)。

典型的響應(yīng)時(shí)間約為 600 到 800 毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)可使校準(zhǔn)氣體的設(shè)定點(diǎn)精度達(dá)到 1%。
流量從 5 到 50,000 sccm
截止閥泄漏率小于4x10E-09atm-cc/秒 He
多種數(shù)字（EtherCAT、DeviceNet?、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模擬（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O 選擇
建立時(shí)間小于 750 毫秒
氟橡膠、丁腈橡膠、氯丁橡膠或 Kalrez 的密封件和閥塞選項(xiàng)

選型資料→https://www.mks.com/mam/celum/celum_assets/resources/GV50-DS.pdf?3