產(chǎn)品目錄product
全國(guó)咨詢熱線
MKS 1559型質(zhì)量流量控制器是為通用質(zhì)量流量而設(shè)計(jì)的
控制應(yīng)用范圍從20 SLM （42.5 cfh）到200 SLM （425 cfh）的
1559型獨(dú)特的控制閥消除振蕩，提供更好的響應(yīng)時(shí)間
與其他流量控制器相比。這可以通過使用“平衡力”來實(shí)現(xiàn)。
自動(dòng)消除管道壓力引起的不平衡的閥門設(shè)計(jì)
控制閥門。
重要的操作考慮因素包括快速預(yù)熱，快速響應(yīng)時(shí)間和1%
F.S.精度（氮?dú)猓＿@些功能是減少停機(jī)時(shí)間和確保安全的關(guān)鍵
正確的氣體流量在正確的時(shí)間被輸送到您的工藝。
1559型具有RFI保護(hù)，并具有噪聲保護(hù)安全功能
當(dāng)閥門關(guān)閉時(shí)，指令信號(hào)小于fs的0.2%。MKS還提供
完整的系列兼容，獨(dú)立的電源/讀出單元，包括類型246，
