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MKS壓力真空計薄膜規(guī)product center
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MKS壓力計 DA02A
MKS壓力計 DA02A

DA02B EtherCAT® Baratron® 電容壓力計延續(xù)了將高性能推向網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng),使用行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 EtherCAT 數(shù)字通信連接到復(fù)雜的工藝工具。

EtherCAT Baratron 壓力計基于成熟的 627C 和 628C 以太網(wǎng)配備 Baratron 產(chǎn)品,符合當(dāng)前的 SEMI® EtherCAT 通用設(shè)備配置文件,專為處理系統(tǒng)而設(shè)計。

對于新應(yīng)用,請參閱 DA05B(滿量程壓力小于 1 Torr/mbar)和 DA07A(滿量程壓力為 1Torr/mbar 或更高)。
未加熱或控制至 45°C、80°C 或 100°C
EtherCAT® 通信和 0-10 VDC 輸出與壓力成正比
滿量程測量范圍為 0.1 至 1000 Torr(13.3 Pa 至 133.3 kPa)
提供標(biāo)準(zhǔn)或蝕刻傳感器

全焊接的鉻鎳鐵合金和鉻鎳鐵®合金傳感器,具有耐腐蝕性

選型手冊請點擊鏈接查看→mks.com/mam/celum/celum_assets/mks/resources/DA02B-DS.pdf?1