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910-11030 DualTrans? MicroPirani?/壓電真空傳感器專為寬范圍壓力測(cè)量應(yīng)用而設(shè)計(jì)，具有 NW16 尺寸的 ISO-KF 法蘭接頭。
與傳統(tǒng)的導(dǎo)熱率計(jì)相比，組合輸出具有更高的精度、穩(wěn)定性、可重復(fù)性和更快的響應(yīng)時(shí)間。910 結(jié)合了兩種壓力測(cè)量技術(shù)，可提供性能和功能。
與熱導(dǎo)率傳感器相比，910 提供 11 至 1500 Torr 的氣體壓力測(cè)量，精度更高。
與傳統(tǒng)的皮拉尼真空計(jì)不同，MicroPirani的傳感器元件由一毫米見方的硅芯片制成，可以在非常小的體積內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。
由于采用了MicroPirani技術(shù)，910可以讀取低至10-5托的壓力，比標(biāo)準(zhǔn)皮拉尼傳感器低二十年。傳感器設(shè)計(jì)減少了對(duì)流的影響，因此 910 可以安裝在任何方向，而不會(huì)影響精度。
壓電陶瓷是壓力傳感器，提供直接的壓力讀數(shù)，使測(cè)量與氣體無關(guān)。壓電傳感器的測(cè)量范圍從小于 1 Torr 到 1500 Torr。
910 具有 RS232 數(shù)字通信接口，用于設(shè)置傳感器參數(shù)并提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量。
910 還具有 1VDC/十倍頻程的模擬壓力輸出，可連接到外部模擬設(shè)備進(jìn)行壓力讀數(shù)或控制。
其他模擬輸出和曲線可通過數(shù)字用戶界面進(jìn)行選擇。
910 有三個(gè)機(jī)械繼電器，可用于過程控制，例如聯(lián)鎖隔離閥和真空泵。每個(gè)設(shè)定點(diǎn)都可以分配給壓電測(cè)量或組合MicroPirani/壓電測(cè)量。
910 的緊湊型設(shè)計(jì)大大減少了真空計(jì)占用的空間。這對(duì)系統(tǒng)設(shè)計(jì)人員特別有吸引力，并允許更緊湊的真空系統(tǒng)。
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