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925-11010 微型皮拉尼?真空傳感器，帶有基于 MEMS 的微型皮拉尼?真空傳感器，是一款基于獨(dú)特的基于 MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）真空傳感器的導(dǎo)熱真空計(jì)。
這款 925 傳感器提供 1x10 的寬測(cè)量范圍-5Torr 到大氣，并具有 NW16 尺寸的 ISO-KF 法蘭接頭。它具有 RS232 數(shù)字通信接口，用于設(shè)置傳感器參數(shù)并提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量。
一個(gè) 9 針 sub-D 公連接器具有 1VDC/十倍頻程的模擬壓力輸出，可連接到外部模擬設(shè)備進(jìn)行壓力讀數(shù)或控制，還有一個(gè)機(jī)械繼電器可用于過(guò)程控制，例如聯(lián)鎖閥或泵。
MicroPirani傳感器由一個(gè)硅芯片和一個(gè)加熱電阻元件組成，形成一個(gè)腔體的表面。
芯片頂部的蓋子形成型腔的另一面。
由于傳感器的幾何形狀，腔內(nèi)不會(huì)發(fā)生對(duì)流，因此傳感器對(duì)安裝位置不敏感。
氣體分子僅通過(guò)擴(kuò)散傳遞到加熱元件，在那里測(cè)量氣體的熱損失。
與所有熱導(dǎo)率傳感器一樣，925 對(duì)氣體類型很敏感。
為了補(bǔ)償氣體依賴性，MicroPirani具有許多常見的氣體校準(zhǔn)，可以通過(guò)數(shù)字接口進(jìn)行選擇。
這使其成為在真空系統(tǒng)中定位中等到細(xì)小泄漏的簡(jiǎn)單解決方案。
925 的緊湊型設(shè)計(jì)大大減少了真空計(jì)占用的空間。
這對(duì)系統(tǒng)設(shè)計(jì)人員特別有吸引力，并允許更緊湊的真空系統(tǒng)。
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