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MKS壓力真空計薄膜規(guī)product center
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MKS壓力計 E29H真空計
MKS壓力計 E29H真空計

E29H Baratron® 蝕刻壓力計在傳感器外殼中具有結構,可消除過程副產物沉積在隔膜表面,從而減少漂移。

E29H 蝕刻壓力計的溫度控制在 45°C 或 100°C,并包括溫度控制電子元件,以提供長期穩(wěn)定性和可重復性。

溫度控制在 45°C 或 100°C,讀數(shù)精度高達 0.12%
0 至 10 VDC 模擬輸出,與壓力成正比
滿量程范圍低至 20 mTorr,可實現(xiàn)低壓測量
直接測量總壓力,不受氣體成分的影響
用于顆粒保護的集成式油底殼
鉻鎳®鐵合金潤濕表面耐腐蝕

選型手冊請點擊鏈接查看→E29H Heated (45°C or 100°C) Baratron® Capacitance Manometer with Etch Sensor (mks.com)