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MKS壓強(qiáng)控制系統(tǒng)(蝶閥)product center
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MKS排氣節(jié)流閥 T3BIA蝶閥
MKS排氣節(jié)流閥 T3BIA蝶閥

T3B高速排氣節(jié)流閥專為以下應(yīng)用而設(shè)計(jì) 需要一個(gè)簡單的壓力控制系統(tǒng)。T3B集成了所有控制、通信、 和節(jié)流閥組件內(nèi)的驅(qū)動(dòng)電路,裝的需要 一個(gè)獨(dú)立的壓力控制電子模塊。采用自整定控制算法 高速運(yùn)行使系統(tǒng)快速達(dá)到設(shè)定點(diǎn),超調(diào)量zui小 確保可重復(fù)的工藝配方,無需操作人員參與。

功能和優(yōu)勢
?緊湊型壓力控制系統(tǒng)-閥門集成板上控制器 電子產(chǎn)品 -易于集成,無需額外的電纜或機(jī)架空間
?高速選項(xiàng)
(180毫秒開到關(guān))-允許更快的時(shí)間設(shè)置點(diǎn)和更快地從流和恢復(fù)壓力擾動(dòng)-實(shí)現(xiàn)高工具吞吐量
?高扭矩選項(xiàng)-在苛刻的過程中延長正常運(yùn)行時(shí)間條件
?雙通道Baratron®壓力計(jì)輸入具有范圍自動(dòng)切換功能—支持寬動(dòng)壓控制范圍-允許高壓控制精度
?可與多種通信協(xié)議:模擬,RS232或DeviceNet?
?可編程壓力,位置,或設(shè)定值限制
?先進(jìn)的自調(diào)諧控制算法-減少設(shè)置時(shí)間確??芍貜?fù)的工藝配方無需操作人員參與
?基于編碼器的實(shí)際位置驗(yàn)證
?可在低電導(dǎo)版本-適用于“房屋排氣”或大氣的應(yīng)用程序
?為連接的Baratron提供電源電容式壓力計(jì)(可選)
?可加熱(105°C標(biāo)準(zhǔn),150°C可選)