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T2B排氣節(jié)流閥是專門設計的 適用于簡單而先進的壓力 需要控制系統(tǒng)。
T2B集成了所有控制， 通訊，以及節(jié)流閥內(nèi)的驅(qū)動電路 裝配 一個獨立的壓力控制電子模塊。
獨特的基于模型的控制算法和高速 操作驅(qū)動系統(tǒng)快速設定點 并確保可重復的過程 無需操作人員參與的配方。
關鍵好處
?車載LCD觸摸屏顯示 壓力和位置
?可編程壓力或位置控制
?基于編碼器的實際位置驗證
?可加熱閥體(105°C標準，150°C 200°C可選)
?緊湊的壓力控制系統(tǒng)-閥門與 集成車載控制器電子 -易于集成，無需額外 電纜或機架空間
?高速配置可用(<250毫秒)。 從開放到關閉) -更快的設定點和從流量和恢復 壓力擾動 -實現(xiàn)高工具吞吐量
?可選擇的高扭矩驅(qū)動器 -延長惡劣工藝條件下的正常運行時間 ?雙通道Baratron®傳感器輸入范圍 自動切換 —支持寬動態(tài)壓力控制范圍 -允許高壓力控制精度
?先進的基于模型的壓力控制算法 -減少設置時間 確保可重復的工藝配方 運營商的參與
?可在低電導軟密封版本 -支持高壓工藝，即使在 低流量(Epi, RTP, SACVD等) -適用于“房屋排氣”或大氣 應用程序
?為連接的Baratron電容提供電源 壓力計(可選，某些型號)
