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MKS壓強(qiáng)控制系統(tǒng)(蝶閥)product center
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MKS蝶閥 253B-1-40-1 排氣節(jié)流閥
MKS蝶閥 253B-1-40-1 排氣節(jié)流閥
MKS型253排氣節(jié)流閥調(diào)節(jié)從加工系統(tǒng)中除去氣體。其片狀定位為調(diào)節(jié)氣體流量,從而控制過(guò)程的壓力。253有一個(gè)非線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)器放置在擋板軸和電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸之間從而產(chǎn)生線(xiàn)性閥的傳遞特性并提供平滑的線(xiàn)性壓力控制。MKS類(lèi)型253有標(biāo)準(zhǔn)尺寸和法蘭樣式可供選擇與所有MKS節(jié)流閥控制器兼容。