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MKS 651型自整定/數(shù)字PID閥控制器驅(qū)動(dòng)MKS型653或253排氣節(jié)流閥與速度和精度。它的自調(diào)整算法帶來了系統(tǒng)設(shè)定點(diǎn)速度比傳統(tǒng)控制器快，并確?？芍貜?fù)的工藝配方無需操作 參與。自調(diào)整功能確定控制參數(shù)在任意設(shè)定值范圍內(nèi)閥門通過學(xué)習(xí)時(shí)間常數(shù)，傳遞函數(shù)其中閥門和管道、閥門增益等重要參數(shù)。651包括可調(diào)的軟啟動(dòng)功能設(shè)定點(diǎn)，以及******限度的開啟和關(guān)閉功能艙內(nèi)的湍流;本地/遠(yuǎn)程傳感器歸零功能;還有兩個(gè)繼電器來啟動(dòng)其他系統(tǒng)功能，或指示壓力是否偏離所需設(shè)定點(diǎn)。所有控件都易于訪問通過一個(gè)簡單易用的前面板，或遠(yuǎn)程通過RS-232、TTL或模擬電壓。LCD讀數(shù)顯示閥門位置和顯示壓力范圍很廣工程單位。五個(gè)可重新編程的設(shè)定點(diǎn)是用于壓力或位置控制的。
653型高速電機(jī)和齒輪/驅(qū)動(dòng)器組件提供對(duì)給定設(shè)定值的快速響應(yīng)達(dá)到預(yù)期壓力，提高系統(tǒng)吞吐量。通過微步進(jìn)閥瓣達(dá)到高精度給更準(zhǔn)確的控制，沒有漂移，在壓力所需設(shè)定點(diǎn)。653有足夠的扭矩來操作密封閥門******可達(dá)4英寸，非密封閥門******可達(dá)4英寸12英寸，防止污染積聚造成堵塞。閥體可以加熱到150°C(可選使用)密封材料)在高溫下操作應(yīng)用程序和流程。653型有一個(gè)擋板定位指示器，以確定系統(tǒng)中的閥門角度故障排除，可提供多種通徑和法蘭樣式，并與MKS型651和1651兼容 控制器。
622C和626C環(huán)境溫度Baratron®電容壓力表是 模擬，基于電容，高性能真空和壓力傳感器。他們 要求±15VDC輸入電壓，并提供高電平0-10VDC模擬輸出信號(hào)，即 與壓力成線性關(guān)系。該模擬輸出可與MKS壓力控制器接口， MKS電源/顯示儀表，或任何符合這些要求的儀表。 壓力/真空的變化是通過測量電容的變化來確定的 在傳感器的隔膜和相鄰的電ji盤之間。這個(gè)電容變化是 通過信號(hào)電子電路轉(zhuǎn)換成可用的輸出。徑向張緊Inconel®隔膜傳感器提供非?？斓捻憫?yīng)(<20毫秒在許多 低遲滯，重復(fù)性好，分辨率非常高(滿量程的0.001%)， 耐腐蝕性，雙層焊接結(jié)構(gòu)，便于操作人員使用 安全。傳感器本身可以承受45 psia (3.1 bar)的反復(fù)曝光 退化或移位，允許它在幾乎任何過程系統(tǒng)中操作。 622C和626C Baratron電容壓力表在環(huán)境條件下工作。 它們可在全量程壓力/真空范圍從0.1到1000托(和公制) 等)，適用于許多工業(yè)、電子和研究應(yīng)用。的 622C有一個(gè)端子座電連接器，626C有一個(gè)15針的d型微型連接器 電連接器。 功能和優(yōu)勢 ?滿量程壓力/真空范圍為 低至0.10托(毫米汞柱) 真空準(zhǔn)確測量 低至1 x 10-3 Torr (1.3 x 10-3 mbar) ?所有產(chǎn)品以百分比 為閱讀的準(zhǔn)確性而提高 制程良率 ?直接測量腔室總量 壓力與氣體類型或無關(guān) 組合，不需要查找 表格和換算因子 ?長期產(chǎn)出 穩(wěn)定確保 幾乎所有的過程可重復(fù)性 應(yīng)用程序 inconel®和incoly®鎳合金 基本傳感器運(yùn)行結(jié)構(gòu) 幾乎沒有任何化學(xué)物質(zhì)的損害 環(huán)境，包括鹵素， 去離子水和蒸汽，還有臭氧 ?高超壓限制確?？煽啃? 偶爾的系統(tǒng)故障
653型高速電機(jī)和齒輪/驅(qū)動(dòng)器組件提供對(duì)給定設(shè)定值的快速響應(yīng)達(dá)到預(yù)期壓力，提高系統(tǒng)吞吐量。通過微步進(jìn)閥瓣達(dá)到高精度給更準(zhǔn)確的控制，沒有漂移，在壓力所需設(shè)定點(diǎn)。653有足夠的扭矩來操作密封閥門******可達(dá)4英寸，非密封閥門******可達(dá)4英寸12英寸，防止污染積聚造成堵塞。閥體可以加熱到150°C(可選使用)密封材料)在高溫下操作應(yīng)用程序和流程。653型有一個(gè)擋板定位指示器，以確定系統(tǒng)中的閥門角度故障排除，可提供多種通徑和法蘭樣式，并與MKS型651和1651兼容 控制器。
653B-3-80-2
653B-1-40-1
653B-13723
653B-4-100-1
653B-27555
653B-21592
653B-13048
653B-60-63-2
653B-25255
653B-8-200J-2
653B-27048
653B-3CF-1
653B-2-50-2
653B-21801
653B-13181
653B-4-100-2
653B-31001
653B-8-10CF-2
653B-10-10-2
653B-25590
653B-30830
653B-13064
653B-13724
653B-4-6CF-2
653B-10-250-2
653B-13105
