MKS 651型自整定/數(shù)字PID閥控制器驅(qū)動MKS型653或253排氣節(jié)流閥與速度和精度。它的自調(diào)整算法帶來了系統(tǒng)設(shè)定點速度比傳統(tǒng)控制器快,并確??芍貜?fù)的工藝配方無需操作 參與。自調(diào)整功能確定控制參數(shù)在任意設(shè)定值范圍內(nèi)閥門通過學(xué)習(xí)時間常數(shù),傳遞函數(shù)其中閥門和管道、閥門增益等重要參數(shù)。651包括可調(diào)的軟啟動功能設(shè)定點,以及******限度的開啟和關(guān)閉功能艙內(nèi)的湍流;本地/遠(yuǎn)程傳感器歸零功能;還有兩個繼電器來啟動其他系統(tǒng)功能,或指示壓力是否偏離所需設(shè)定點。所有控件都易于訪問通過一個簡單易用的前面板,或遠(yuǎn)程通過RS-232、TTL或模擬電壓。LCD讀數(shù)顯示閥門位置和顯示壓力范圍很廣工程單位。五個可重新編程的設(shè)定點是用于壓力或位置控制的。