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BROOKS流量控制器product center
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BROOKS流量控制器 SLA5863S質(zhì)量流量計(jì)
BROOKS流量控制器 SLA5863S質(zhì)量流量計(jì)

SLA5863_數(shù)模橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)(12L253L)

數(shù)模橡膠密封;

流量范圍:100-2500 slpm;

精度:±1.0% of rate(20%-100% FS);

±0.2% FS(<20% FS);,

±1.0%F.S.(>1100 slpm)

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