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HORIBA流量控制器product center
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HORIBA流量控制器 SEC-E系列
HORIBA流量控制器 SEC-E系列

通用質(zhì)量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥，可實現(xiàn)高水平的氣流控制。作為一種多功能組件，SEC-E 系列質(zhì)量流量控制器可用于各種行業(yè)。

通過質(zhì)量流量控制器的氣流可控制在不同的流量范圍內(nèi)：10 SCCM 至 200 SLM。

  • 配備可靠的熱傳感器和電磁閥
  • 流量控制范圍廣：10 SCCM 至 200 SLM (N2)
  • 應用廣泛
  • 可集成至各種制造系統(tǒng)，包括：液晶顯示器、光伏電池、功率半導體、鍍膜
    • 一般工業(yè)：燃燒器氣體控制；大氣氣體控制；混合氣體生產(chǎn)；換氣量測量
    • 研發(fā)：各種氣體傳感器和燃燒室性能評估設備；生物技術相關評價
    • 實驗室：用于各種實驗、氣體取樣的氣流控制器