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HORIBA流量控制器product center
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HORIBA流量控制器 SEC-D700MG
HORIBA流量控制器 SEC-D700MG
 高響應(yīng)壓力質(zhì)量流量器

關(guān)鍵的半導(dǎo)體制造過程不斷要求氣體流量控制設(shè)備，以實現(xiàn)未來的創(chuàng)新，以及存儲和邏輯設(shè)備的實驗室到工廠的過渡。

HORIBA公司提出了新的基于壓力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型號，以支持客戶的挑戰(zhàn)。

工具上氣體和全尺寸配置更改 *僅 EtherCAT 
為流程優(yōu)化提供靈活性
100 ms 響應(yīng)速度和mfc到mfc的偏差控制
提供高生產(chǎn)力和更大的過程性能
小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105）
為需要小流量的工藝提供靈活性
PFA 噴嘴具有更好的閥門關(guān)閉和耐腐蝕性能
穩(wěn)定性性和較小的顆粒風(fēng)險，減少停機時間和優(yōu)化產(chǎn)量
狀態(tài)監(jiān)控功能
為更智能的故障預(yù)測提供更多的內(nèi)部數(shù)據(jù)