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DZ-100 繼承了 HORIBA STEC 公司 MFC D500 所采用的相同標(biāo)準(zhǔn)技術(shù) — 粘性層流范圍壓差檢測(cè)系統(tǒng)。

該技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)各種氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行高精度控制。與 D500 一樣，用戶可配置 DZ-100，支持多量程和多氣體應(yīng)用。

MFC 設(shè)計(jì)緊湊，減少了內(nèi)部氣流通道占用的內(nèi)部體積，同時(shí)采用優(yōu)化控制算法響應(yīng)特性。

該設(shè)備使用處理能力較高的緊湊型中央處理器（CPU）。

壓電驅(qū)動(dòng)電路和控制中央處理器安裝在 MFC 模塊中，而電源組件布置在單獨(dú)的小控制箱中。

連接專用微型連接器，可以控制四個(gè) MFC 。