INFICON SKY CDG100D壓力計是測量和控制總壓力的選擇。
CDG100D真空計的溫度控制在 100 °C,在要求苛刻的半導(dǎo)體和等離子體工藝中具有良好的性能。
它們可用于 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿量程范圍,具有所有常見的法蘭類型和現(xiàn)場總線接口,并提供線性 0 至 10 V、與氣體類型無關(guān)的壓力信號。
INFICON 電容式壓力計使用防腐蝕的超純氧化鋁陶瓷膜片。
陶瓷傳感器的優(yōu)點是信號穩(wěn)定性更好,從大氣中恢復(fù)更快,預(yù)熱時間短,使用壽命長。
INFICON CDG 是高質(zhì)量、高性價比的壓力傳感器,適用于要求苛刻的半導(dǎo)體、等離子體和真空應(yīng)用。
也可提供Profinet數(shù)字接口!®
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