CDG200D真空計(jì)的溫度控制在 200 °C,在要求苛刻的半導(dǎo)體和等離子體工藝。
它們可用于從 1 Torr 到 1000 Torr 的滿量程范圍,具有所有常見的法蘭類型和現(xiàn)場總線接口,并提供線性 0 至 10 V、與氣體類型無關(guān)的壓力信號(hào)。
INFICON 電容式壓力計(jì)使用防腐蝕的超純氧化鋁陶瓷膜片。
陶瓷傳感器的優(yōu)點(diǎn)是信號(hào)穩(wěn)定性更好,從大氣中恢復(fù)更快,預(yù)熱時(shí)間短,使用壽命長。
INFICON CDG 是高質(zhì)量、高性價(jià)比的壓力傳感器,適用于要求苛刻的半導(dǎo)體、等離子體和真空應(yīng)用。
也可提供 EtherCAT 數(shù)字接口!
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