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GM50A和GM51A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可配備模擬或RS485、Profibus?、EtherCAT、® PROFINET或DeviceNet? I/O。

數(shù)字控制電子元件采用的 MKS 控制算法，可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點做出快速且可重復的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為 500 毫秒。

數(shù)字校準對校準氣體產(chǎn)生 1% 的設(shè)定點精度。

流量從 5 到 50,000 sccm

用特氟龍閥塞進行金屬密封

多種數(shù)字量（EtherCAT、DeviceNet?、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模擬量 I/O 可供選擇

標準閉合流導泄漏率小于滿量程的 1.0% 小于 750 毫秒的穩(wěn)定時間 GM50A和GM51A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可配備模擬或RS485、Profibus?、EtherCAT、® PROFINET或DeviceNet? I/O。

數(shù)字控制電子元件采用的 MKS 控制算法，可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點做出快速且可重復的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為 500 毫秒。數(shù)字校準對校準氣體產(chǎn)生 1% 的設(shè)定點精度。

選型手冊→/uploads/file/202411/20241110152858_22164.pdf